Cluster- und Inline-Anlagen
Cluster-Anlagen
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Transferkammern und Prozessmodule für Sputter- und RIE-Prozesse.
Inline-Anlagen
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Vorbehandlungskammern und Sputterkammern. Die Ausrichtung ist vertikal oder horizontal.
Ein Beispiel finden Sie hier:
