COMPACT-MW

Eigenschaften

- Kompakte Systeme, minimale Stellfläche
- Hohe Plasmadichten für kurze Prozesszeiten
- Optimierte Homogenität durch Plasma-Array mit 2-dimensionalem Gaseinlasssystem
- Hohe Beladekapazität

PIKNOS 30 MW

Allgemeine Daten

Abmessungen (BxTxH):   1,0 x 0,8 x 1,8 m
Kammervolumen:   30 l
Netzanschluss:   3/N/PE AC 400/230V
Gasversorgung:   Max. 4 Gasfluss-Controller mit einem Durchfluss von bis zu 500 sccm pro Controller
 


Mikrowellen-Versorgung

Frequenz:   2,45 GHz
Ausgangsleistung:   2 kW, gepulst 4 kW
    

Entkeimung und Barrierebeschichtung

Aurion hat ein Verfahren zur Entkeimung und Barrierebeschichtung insbesondere von Hohlkörpern (wie z.B. PET-Flaschen) entwickelt. Bitte kontaktieren Sie uns, um den Einsatz dieser Technologie für Ihre Anwendung zu besprechen